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电子通道效应有哪两种方法呢?

电子通道效应有哪两种方法呢?

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2016-08-13

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     电子通道效应是入射电子在单晶试样表面大角度扫描过程中产生的背散射电子强度,随晶体取向而改变的效应。检测这些电子信号,可得一幅明暗有一定规律的平行线和一定宽度的花样,形状如同隧道一样,称电子通道图。
  图的平行线方向与晶体取向有关、宽度与布拉格角有关,由此可进行单晶体的结构分析。  获得图像的方法有两种:一是扫描法,即电子束在单晶体样品上一个确定的范围内扫描;二是摇摆法,电子束在单晶样品上以一固定点摇摆。
  前者用于直径为几百微米至几毫米的单晶结构分析。后者用于直径为几微米的选区单晶或多晶体结构分析,是扫描电子显微镜中进行晶体结构分析的一种方法。   。

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