测量距离 测量精度
KD5100纳米级差动电涡流传感器主要特点：
每通道两个精确匹配的传感器使分辨率达到1nm；
超耐热，长时间稳定：1。27x10-4mm/月或更好；有耐低温传感器；
非常高的灵敏度，最高到394 mV/µm；
低功耗：小于2W(±15 Vdc典型情况下)。
应用领域
差动测量：
两个精确匹配的传感器被放置在被测物平台两侧，这两个传感器组成了平衡桥电路相反的两端，这个结构提供了极好的线性和热稳定性，所以其输出准确地记录了线性的最微小移动。如激光反射镜聚焦平台定位。
超高精度宇航应用：
已制造出MIL-H-38534。所有电子器件均采用符合MIL-SPEC标准的。KD-51...全部
KD5100纳米级差动电涡流传感器主要特点：
每通道两个精确匹配的传感器使分辨率达到1nm；
超耐热，长时间稳定：1。27x10-4mm/月或更好；有耐低温传感器；
非常高的灵敏度，最高到394 mV/µm；
低功耗：小于2W(±15 Vdc典型情况下)。
应用领域
差动测量：
两个精确匹配的传感器被放置在被测物平台两侧，这两个传感器组成了平衡桥电路相反的两端，这个结构提供了极好的线性和热稳定性，所以其输出准确地记录了线性的最微小移动。如激光反射镜聚焦平台定位。
超高精度宇航应用：
已制造出MIL-H-38534。所有电子器件均采用符合MIL-SPEC标准的。KD-5100在战斗环境下超过55,000小时，太空飞行环境下超过238,000小时。
小尺寸 (只有 2 x 2。
12 x 0。75英寸) ，可应用于空间狭小的场合。
半导体圆晶片制造中的超高精确激光聚焦：
激光微注技术被用于开发半导体圆晶片制造中的“直接写入”应用和高吞吐量模板图案应用，而且还被融合进0。
1微米工艺的产品中。KD5100就被应用到此技术中，精确控制激光的位置，完成超高精确位置、关键尺寸和对齐控制。
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