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如何测量?测量薄膜的厚度选用哪款传感器?

测量薄膜的厚度选用哪款传感器,如何测量?

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2014-12-09

29 0
由于薄膜的特殊性,一般的激光传感器不能检测他的厚度。目前国际上通用的薄膜厚度检测方法是用单极性ZCS1100或双极性ZNXsensor电容式位移传感器组成薄膜测厚仪。

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