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测薄膜厚度传感器

我想测薄膜的厚度,用什么型号的传感器好呢?主要是测量结果要精确,有知道的朋友么?

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2012-05-03

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用ZCS1100高精度电容位移传感器测量。 主要特点: 纳米级分辨率; 线性0.08%; 灵敏度可调; 量程:240µm; 分辨率:0.1nm; 供电:±15VDV; 高性能、成本低,尺寸小巧;

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