非晶硅优缺点都有哪些呢?
非晶硅优缺点编辑非晶硅的优点[1]可以自由裁剪,因而可以充分利用合成的产品,不像晶体硅不能自由裁剪,制作成器件时材料磨下好多碎末,浪费很大;它的制作过程是气相沉积(1976,Spear法)化氢热分解,分解时可以根据需要掺杂,如掺入磷化氢或硼化氢,由于是气相沉积,制作工艺条件容易进行自动化控制;它还可以制成很薄很薄的薄膜,而晶体硅却至少要达到几百微米的厚度。
非晶硅优缺点编辑非晶硅的优点[1]可以自由裁剪,因而可以充分利用合成的产品,不像晶体硅不能自由裁剪,制作成器件时材料磨下好多碎末,浪费很大;它的制作过程是气相沉积(1976,Spear法)化氢热分解,分解时可以根据需要掺杂,如掺入磷化氢或硼化氢,由于是气相沉积,制作工艺条件容易进行自动化控制;它还可以制成很薄很薄的薄膜,而晶体硅却至少要达到几百微米的厚度。
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