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单晶硅多晶硅非晶硅的区别有哪些?

单晶硅多晶硅非晶硅的区别有哪些?

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2016-12-20

33 0
这种制备非晶硅薄膜的工艺,主要取决于严格控制气压、流速和射频功率,对衬底的温度也很重要

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