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单晶硅中都含有哪些杂质?

单晶硅中都含有哪些杂质?

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2018-02-22

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  多晶硅是高纯的,其纯度在6N以上,但单晶硅就不同了,为了让生产的单晶硅能具有所需的特定电学性质,通常必须故意加人一定数量的掺杂物。拉制N型单晶硅时,一般掺人V 族元素磷或锑;拉制p型单晶硅时,一般掺人in族元素硼或镓。
  
  除了应些故意加入的掺杂物外,单晶硅中可能还含有一些其他杂质,如氮、氢和一些金属杂质等。此外,单晶硅在生长过程中,特别是采用直拉法制备单晶硅,会引人其他不需要的杂质,如氧、碳等。由石英坩埚所沾污的氧可达10—5数量级,并且会通过熔化的硅液进人硅棒内。

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