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低温多晶硅的特点是什么?

低温多晶硅的特点是什么?

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2016-09-22

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中文名低温多晶硅外文名LowTemperaturePolySilicon简称LTPS优点薄膜电路可以做得更薄更小1简介2多晶硅产业发展预测低温多晶硅简介编辑在多晶硅技术发展的初期,为了将玻璃基板从非晶硅结构(aSi)转变为多晶硅结构,就必须借助一道激光退火(LaserAnneal)的高温氧化工序,此时玻璃基板的温度将超过摄氏1000度

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