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十三五”国家科技创新中如何发展光电子制造关键装备?

十三五”国家科技创新中如何发展光电子制造关键装备?

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2019-02-22

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开展新型光通信器件、半导体照明、高效光伏电池、MEMS(微机电系统)传感器、柔性显示、新型功率器件、下一代半导体材料制备等新兴产业关键制造装备研发,提升新兴领域核心装备自主研发能力。

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