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激光技术在工业中的应用有什么作用呢?

激光技术在工业中的应用有什么作用呢?

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2016-10-21

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激光退火后,杂质的替位率可达到98%~99%,可使多晶硅的电阻率降到普通加热退火的1/2~1/3,还可大大提高集成电路的集成度,使电路元件间的间隔缩小到0.5微米

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