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碳杂质对单晶硅有什么影响?

碳杂质对单晶硅有什么影响?

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2017-01-31

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    碳也是单晶硅中的一种主要杂质。碳在硅中处于替位位置,由于碳是四价元素,所以在晶体硅中属于非电活性杂质。因此,在单晶硅中的碳不引人电活性缺陷,不会影响单晶硅的载流子浓度。
  但碳可以与氧作用,也可以与自间隙硅原子和空位结合,形成缺陷,而导致击穿电压大大降低,漏电增加,而且碳浓度过高时,还会导致硅多晶体的形成。    碳在单晶硅中可以影响氧的沉淀等性质。
  
  一般认为,碳能够促进氧沉淀,特别是在低氧浓度的单晶硅中,碳对氧沉淀有强烈的促进作用。在早期阶段,碳浓度较高,严重影响器件的性能,经多年的努力,目前在直拉单晶硅中,碳杂质已经得到有效的控制,其浓度可以在5XlOu个/cm3以下,对器件性能的影响完全可以忽略不计。

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