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MEMS的技术基础可以分为哪几个方面?

MEMS的技术基础可以分为哪几个方面?

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2016-10-26

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微机电系统技术基础MEMS的技术基础可以分为以下几个方面:(1)设计与仿真技术;(2)材料与加工技术(3)封装与装配技术;(4)测量与测试技术;(5)集成与系统技术等

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