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激光干涉仪测量直线度实验测量前为什么要消除斜率误差

激光测量仪

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2017-11-02

95 0
  既然是用激光干涉仪测量直线度,那肯定要先排除斜率误差了,因为你想得到更准确的检测结果,肯定是误差越小越好。SJ6000激光头射出后的激光由直线度干涉镜以一定的小角度分为两束,并入射到直线度反射镜中。
  经直线度反射镜反射后,沿着新光路返回到直线度干涉镜中,经直线度干涉镜合束后返回激光头的进光口,当直线度干涉镜偏离光线,则两光束产生光束差,由激光干涉仪探测器探测出来,由软件计算显示出来。

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