蔷***
2024-03-28 10:52:21
通常采用空气或者氮气(N2)作为发生气体。特点是气体的需求量非常高,使用氮气时一般需要配备专门的大功率氮气发生器,工业上常用RF射频作为激发能源,频率在40KHZ左右。等离子工作形态以炬式较为常见(产品如图2),条状放电模式使得表面处理后均匀性不高。设备工作过程中会产生超标的臭氧与氮氧化物等对人体有害的气体,必须要配套废气排放系统一同工作...[展开]
通常采用空气或者氮气(N2)作为发生气体。特点是气体的需求量非常高,使用氮气时一般需要配备专门的大功率氮气发生器,工业上常用RF射频作为激发能源,频率在40KHZ左右。等离子工作形态以炬式较为常见(产品如图2),条状放电模式使得表面处理后均匀性不高。设备工作过程中会产生超标的臭氧与氮氧化物等对人体有害的气体,必须要配套废气排放系统一同工作。因为上述特性,Corona 等离子主要适用于对处理效果要求不高,并且后续运行成本低的行业(可使用空气),比如纺织业等。[收起]