电子枪：一般为CeB6（六硼化铈）或钨灯丝，其中钨灯丝的寿命较短，仅为40-100小时， 需频繁更换，CeB6灯丝寿命...[展开]
电子枪：一般为CeB6（六硼化铈）或钨灯丝，其中钨灯丝的寿命较短，仅为40-100小时， 需频繁更换，CeB6灯丝寿命超过1500小时，且亮度更高。目前尚没有采用场发射（Field Emission）的台式扫描电镜。 电磁透镜 [收起]
空系统：一般采用机械泵与分子泵联动 探测器：背散射电子或二次电子探测器
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2018-01-07 06:16:44
