二次离子质谱分析法是怎样的分析法
二次离子质谱分析法又称离子探针法。利用高能一次离子束轰击样品表面溅射出二次离子，然后对二次离子进行检定的一种质谱分析法。样品受到能量为几千电子伏特的一次离子束轰击时，从样品表面溅射出中性原子、激发态原子和二次离子。 把二次正、负离子引出，经质量分析器按质荷比不同进行分离后得到二次离子质谱图，从而实现对样品表面元素、元素的同位素、化合物、分子结构以及一些晶体结构的鉴定。结合离子显微镜和电视扫描技术可观察分析元素的分布状态。 分析用的仪器称为二次离子质谱仪或离子探针。以一次离子束对样品表面状态影响程度不同分为静态离子质谱分析和动态离子质谱分析；按分析内容不同可分为质谱气体分析、质谱表面分...全部
二次离子质谱分析法又称离子探针法。利用高能一次离子束轰击样品表面溅射出二次离子，然后对二次离子进行检定的一种质谱分析法。样品受到能量为几千电子伏特的一次离子束轰击时，从样品表面溅射出中性原子、激发态原子和二次离子。
把二次正、负离子引出，经质量分析器按质荷比不同进行分离后得到二次离子质谱图，从而实现对样品表面元素、元素的同位素、化合物、分子结构以及一些晶体结构的鉴定。结合离子显微镜和电视扫描技术可观察分析元素的分布状态。
分析用的仪器称为二次离子质谱仪或离子探针。以一次离子束对样品表面状态影响程度不同分为静态离子质谱分析和动态离子质谱分析；按分析内容不同可分为质谱气体分析、质谱表面分析、质谱界面分析和质谱深度分析。
其微区分辨本领与电子探针相似，最小线度为1—2μm，元素探测灵敏度为l(T18g;整体分析灵敏度为10-18g，接近无机质谱分析法。已成为材料科学、微电子学、表面科学、固体物理、化学化工、环境科学等研究中的一种重要分析方法。收起
