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纳米级 分辨率

纳米级位移传感器ZLDS/N-100的分辨率能达到多少纳米啊?量程是多少呢?

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2012-11-15

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ZLDS/N-100具有100微米的量程和15纳米的分辨率,是一款非接触式高精度光学位移传感器。其起始测量距离为3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,其测量精度实际相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具。

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