液晶屏是怎样生产的
液晶显示器制造工艺流程基础技术
一。工艺流程简述:
前段工位:
ITO玻璃的投入(grading) 玻璃清洗与干燥(CLEANING)
涂光刻胶(PR COAT) 前烘烤(PREBREAK)
曝光(DEVELOP) 显影(MAIN CURE)
蚀刻(ETCHING) 去膜(STRIP CLEAN) 图检(INSP)
清洗干燥(CLEAN) TOP涂布(TOP COAT)
UV烘烤(UV CURE) 固化(MAIN CURE)
清洗(CLEAN) 涂取向剂(PI PRINT)
固化(MAIN CURE) 清洗(CLEAN)
丝网印刷(SEAL/SHORT PRINTING) 烘烤(CUPIN...全部
液晶显示器制造工艺流程基础技术
一。工艺流程简述:
前段工位:
ITO玻璃的投入(grading) 玻璃清洗与干燥(CLEANING)
涂光刻胶(PR COAT) 前烘烤(PREBREAK)
曝光(DEVELOP) 显影(MAIN CURE)
蚀刻(ETCHING) 去膜(STRIP CLEAN) 图检(INSP)
清洗干燥(CLEAN) TOP涂布(TOP COAT)
UV烘烤(UV CURE) 固化(MAIN CURE)
清洗(CLEAN) 涂取向剂(PI PRINT)
固化(MAIN CURE) 清洗(CLEAN)
丝网印刷(SEAL/SHORT PRINTING) 烘烤(CUPING
FURNACE) 喷衬垫料(SPACER SPRAY) 对位压合
(ASSEMBLY) 固化(SEAL MAIN CURING)
1。
ITO图形的蚀刻:(ITO玻璃的投入到图检完成)
A。 ITO玻璃的投入:根据产品的要求,选择合适的ITO玻璃装
入传递篮具中,要求ITO玻璃的规格型号符合产品要求,
切记ITO层面一定要向上插入篮具中。
B。 玻璃的清洗与干燥: 将用清洗剂以及去离子水(DI水)等
洗净ITO玻璃,并用物理或者化学的方法将ITO表面的杂
质和油污洗净,然后把水除去并干燥,保证下道工艺的加工
质量。
C。
涂光刻胶: 在ITO玻璃的导电层面上均匀涂上一层光刻胶,
涂过光刻胶的玻璃要在一定的温度下作预处理:(如下图)
光刻胶
ITO膜
玻璃基板
D。 前烘:在一定的温度下将涂有光刻胶的玻璃烘烤一段时间,
以使光刻胶中的溶剂挥发,增加与玻璃表面的粘附性。
E。 曝光:用紫外光(UV)通过预先制作好的电极图形掩模版
照射光刻胶表面,使被照光刻胶层发生反应,在涂有光刻胶
的玻璃上覆盖光刻掩模版在紫外灯下对光刻胶进行选择性
曝光:(如图所示)
UV光
掩模版
光刻胶
ITO膜
玻璃基板
F。
显影:用显影液处理玻璃表面,将经过光照分解的光刻胶层
除去,保留未曝光部分的光刻胶层,用化学方法使受UV光
照射部分的光刻胶溶于显影液中,显影后的玻璃要经过一定
的温度的坚膜处理。(如图:)
光刻胶
ITO膜
玻璃基板
G。
坚膜:将玻璃再经过一次高温处理,使光刻胶更加坚固。
H。 刻蚀:用适当的酸刻液将无光刻胶覆盖的ITO膜蚀掉,这
样就得到了所需要的ITO电极图形,如图所示:
光刻胶
ITO膜
玻璃基板
注:ITO玻璃为(In2O3与SnO2)的导电玻璃,此易与酸发生反
应,而用于蚀刻掉多余的ITO,从而得到相应的拉线电极。
I。 去膜:用高浓度的碱液(NaOH溶液)作脱膜液,将玻璃上
余下的光刻胶剥离掉,从而使ITO玻璃上形成与光刻掩模
版完全一致的ITO图形。(即按客户要求进行显示的部分拉
线蚀刻完成。
ITO膜
玻璃基板
J。 清洗干燥:用高纯水冲洗余下的碱液和残留的光刻胶以及其
它的杂质。
。收起
