静态离子质谱分析是怎样的分析方法呢?
J*** 2016-08-19 08:56:41 举报
静态离子质谱分析是在分析期间一次离子束轰击样品表面时基本上不改变表面状态下进行的二次离子质谱分析法。它要求样品室的真空度大于10-7Pa,样品不受环境干扰,并要求一次离子束流密度不超过lOnA/cm2,最好是1nA/cm2或更低(最小剥离速率约为0。 1nm/h),以保持样品表面的完整性。它能对固体表面和本体进行广泛分析,能检测到浓度为10-9(原子浓度)的杂质和痕量元素以及表面化学结构分析。