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电路是如何印刷到晶圆上的
乐知天命 2019-05-18
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不卑不亢 2022-01-19
不是印刷上去的,而是用像照相机拍照一样照上去的。事先做好一块母版,然后放到半导体材料(事先在表面刷上一层感光材料)上,材料的有些地方被母版遮住了,有些地方没被遮住,然后光照。被光照过的地方感光材料发生了化学反应形成了其他物质,而没有被照过的地方保持原样。然后用化学腐蚀剂把感光材料去除掉,这时候,材料上就形成了两种不同的情况。有些地方被腐蚀,凹进去,有些地方没被腐蚀,凸出来,然后再进行掺杂,形成希望的半导体结构。多次重复,半导体电路就形成了。这里面没有一根金属线,全部靠半导体材料形成的图形实现电路功能。
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