砷化氢的用途有哪些？
1.砷烷用于半导体工业中，如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓（GaAs）、磷砷化镓（GaAsP）以及与某些元素形成化合物半导体。 2.用于大规模集成电路。3.用于砷有机化合物的合成。4.该产品在半导体工业中用于外延、ｎ型掺杂、扩散和离子注入工艺，以及磷化镓薄膜的生产。高纯砷化氢">
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