什么是置换?怎么置换？
将设备里的一种气体换成另一种气体的工作称为“置换”。 正常生产时,多晶硅还原炉里充满氢气和原料(三氯氢硅或四氯化桂)。氢气是易燃易爆气体,不可直接与空气接触。如果直接向还原炉里通人氢气,氢气 就会与还原炉里的空气接触,就可能要发生危险。 怎么办呢?这就要进行“开炉置换”,也就 是,将还原炉里的空气变成氢气的置换。另外,停炉时,也不能直接打开炉门,打开炉门还原炉里的氢气就会与空气接触,也会发 生危险。因此也应进行置换,这种置换称为“停炉置换”。 “停炉置换”与 “开炉置换”不同, 它不是将还原炉里的空气变成氢气,而是将还原炉里的氢气变成空气。正常的置换方法有两种:一种是采用惰性气体置换;...全部
将设备里的一种气体换成另一种气体的工作称为“置换”。 正常生产时,多晶硅还原炉里充满氢气和原料(三氯氢硅或四氯化桂)。氢气是易燃易爆气体,不可直接与空气接触。如果直接向还原炉里通人氢气,氢气 就会与还原炉里的空气接触,就可能要发生危险。
怎么办呢?这就要进行“开炉置换”,也就 是,将还原炉里的空气变成氢气的置换。另外,停炉时,也不能直接打开炉门,打开炉门还原炉里的氢气就会与空气接触,也会发 生危险。因此也应进行置换,这种置换称为“停炉置换”。
“停炉置换”与 “开炉置换”不同, 它不是将还原炉里的空气变成氢气,而是将还原炉里的氢气变成空气。正常的置换方法有两种:一种是采用惰性气体置换;另一种是采用抽真空置换。(1) 采用惰性气体置换。
惰性气体(氮气)的开炉置换是先用惰性气体将还原炉里的空气 赶净,之后,再通人氢气把还原炉里的惰性气体赶净,这样一来,多晶硅还原炉里就换成 氢气。惰性气体(氮气)的停炉置换与开炉置换相反,是先用惰性气体(氮气)将还原炉里的氢 气赶净。
等还原炉里充满惰性气体后,才可打开炉门。(2) 采用抽真空置换。抽真空置换的开炉置换与停炉置换基本相同。置换时,都是先将还 原炉里的空气抽成真空,然后再通入所用气体。也就是,开炉置换是先将还原炉里的空气抽成 真空,然后再通人氢气;而停炉置换是先将还原炉里的空气抽成真空,然后打开炉门。
为了安全,有的多晶硅工厂采用惰性气体置换与抽真空置换并用的方法。该方法置换时, 先将还原炉里的空气抽成真空,然后再通人惰性气体(氮气),最后再通人所用的气体。收起
