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南平洁净工程公司是如何控制净化工程

2017-07-10 13:38:44 举报
其他答案
2017-07-10 13:38:44
举报47 评论
     洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。  具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。  例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材...[展开]
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