足***
2023-02-03 08:51:14
合生涂层的DLC(类金刚石)涂层镀膜设备采用的是直流磁控溅射+线性离子束复合技术。
直流磁控溅射技术原理:电子在电场E的...[展开]
合生涂层的DLC(类金刚石)涂层镀膜设备采用的是直流磁控溅射+线性离子束复合技术。
直流磁控溅射技术原理:电子在电场E的作用下,在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞,使其电离产生出Ar正离子和新的电子;新电子飞向基片,Ar离子在电场作用下加速飞向阴极溅射靶,并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。在溅射粒子中,中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜。
线性离子束技术原理:在真空条件下(1.0×10-1~1.0×10Pa) ,利用在阴阳极板间电离碳氢气体放电,并利用电场的加速作用,使被电离的碳氢基团沉积在工件上。[收起]