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2500平米的集成电路无尘车间,怎么做规划设计?

2022-05-13 16:00:23 举报
其他答案
2022-05-13 16:59:19
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集成电路无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等要求,相对其他工业洁净车间而言更加严格。IC产业无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点,因而可以选择将前后区分开,前区为人员操作区(硅片暴露区),后区为工艺设备接管区。这样洁净度要求高的区域的面积也会减少,可以减少整个系统的...[展开]

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