爱问首页 爱问商城
首页> 教育/科学 >理工学科 >工程技术科学

如何控制净化工程呢?

2016-12-30 16:48:11 举报
其他答案
2016-12-30 16:48:11
举报47 评论
    洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。    例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料...[展开]
提问
教育/科学
工程技术科学
院校信息
升学入学
理工学科
出国/留学
职业教育
人文学科
外语学习
学习帮助
K12
理工学科
工程技术科学
农业科学
生物学
建筑学
心理学
数学
天文学
化学
环境学
地球科学
生态学
物理学
工程技术科学
工程技术科学
举报
举报原因(必选):
取消确定举报