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真空机器人包括哪些关键技术呢?

真空机器人包括哪些关键技术呢?

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2016-10-08

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真空机器人真空机器人是一种在真空环境下工作的机器人,主要应用于半导体工业中,实现晶圆在真空腔室内的传输

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