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安集科技的抛光液主要有哪些系列呢?

2023-09-27 19:27:22 举报
其他答案
2023-09-27 19:28:21
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1)铜及铜阻挡层系列抛光液:为公司主要销售剂品,应用于先进制程的逻辑芯片和存储芯片;2)钨抛光液:大量应用于存储制造工艺,在逻辑芯片中仅用于部分工艺;3)硅粗抛光液:主要应用于硅晶片的初步加工过程;4)钴抛光液:应用于10nm及以下的技术节点中,是新一代制程的全新抛光应用;5)氧化物抛光液:用于去除金属元件的表面氧化物。

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