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什么是退火炉,它是做什么用的,用在哪里?

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2018-09-07

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我的理解是在退火的过程中,本来三价P杂质与硅的化学键断裂进而与空气中的氧结合,也就是一个氧化的过程.P杂质之所以起作用,是因为其与SI结合,这样余出一个电子的空位,使得电子的流动.氧化之后的P杂质就不参与到这个过程中来,从功能的角度上讲纯化了硅片

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