电容式传感器有很多,但原理相同。平行板电容器的电容C跟介电常数ε成正比 跟正对面积成反比 根极板间的距离d成反比 有
C=εS/4πkd
式中k为静电力常量。通过改变介质,极板距离,极板正对面积,这三个参数之一使传感器的电容发生变化,再通过电荷放大器,将电容变化或电量变化转换成容易用电路处理电压或电流量。
这就是电容式传感器的特点,通过上面的原理可以做成很多传感器,比如测长度的,测角度,测空气粉尘,空气湿度,还有声音,振动等,精度很高,比如测振动的精度可以达到零点零几个微米。
但是测长度的线性度不好,需要通过电路矫正,还有容易受到电路中的寄生电容的影响,所以电路设计的时候要很注意。 再则,通交流,阻直流。
真尚有公司的电容器传感器具有以下特点; 纳米级分辨率; 线性0.08%; 灵敏度可调; 量程:240µm; 分辨率:0.1nm; 供电:±15VDV; 高性能、成本低,尺寸小巧
电容器两极板间距离变大,电容变小 正对面积变大,电容变大 电解质变化,电容改变 各种电容传感器的工作即是通过这些变化来实现的