张***
2020-06-24 12:53:47
主要适用领域是电子行业,如传感器蚀刻,通常也可用于激光调阻,常见的有铜薄膜刻蚀。紫外激光刻蚀机的优势在于刻蚀的线条更加精...[展开]
主要适用领域是电子行业,如传感器蚀刻,通常也可用于激光调阻,常见的有铜薄膜刻蚀。紫外激光刻蚀机的优势在于刻蚀的线条更加精细,同时不伤及薄膜,能够有效保证导通性及阻值的要求,并能根据需求随时进行调整。激光刻蚀机的主要构成有激光器、XY直线工作台、驱动器、工控机、高速振镜、聚焦透镜、系统控制软件、定位系统、抽尘系统、真吸附空系统、外光路、机台等,能够有效满足大尺寸与高精度拼接加工的需求。根据不同的加工需求,组合配置光学及运动控制系统,以元禄光电为例,可采用纳秒级别红外光纤(包括可调脉宽激光器)、515/532nm绿光激光器、355nm紫外激光器,也可采用超短脉冲皮秒或飞秒激光设备进行加工。标准配置600*600mm有效加工幅面,最大可做到3200*2400mm加工幅面,可满足触摸屏、光伏太阳能电池、以及其他导电薄膜或导电玻璃材料的刻蚀加工。[收起]